無(wú)塵車間溫濕度主要是根據(jù)生產(chǎn)工藝要求來(lái)確定的，在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，首選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度要求。如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，溫度上升，就可能引起線性膨脹，同時(shí)要求濕度值一般較低。

對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1、潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

2、相通昆明凈化潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。

3、昆明凈化潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。